魯工信電子〔2021〕146號

各市工業和信息化局、發展改革委、科技局、財政局：

現將《山東省推動智能傳感器產業發展行動計劃（2021-2023年）》印發給你們，請結合實際，認真抓好組織實施。

附件：山東省推動智能傳感器產業發展行動計劃（2021-2023年）

山東省工業和信息化廳

山東省發展和改革委員會

山東省科技廳

山東省財政廳

2021年 7 月 9 日

山東省推動智能傳感器產業發展行動計劃（2021-2023年）

傳感器技術是決定未來信息技術產業發展的核心與基礎之一，與通信技術、計算機技術并稱為新一代信息技術的三個重要組成部分。隨著5G、人工智能、物聯網、大數據、云計算等技術的迅猛發展，以萬物互聯、萬物智能為特征的新一輪技術革命已經到來，作為與外界環境交互的重要手段和感知信息的主要來源，智能傳感器產業發展迎來巨大的歷史機遇。為全面提升智能傳感器產業核心競爭力，推動產業發展，保障信息安全，結合我省實際，制定本行動計劃。

一、發展現狀

從全球看，當前智能傳感技術創新勢頭迅猛，基于新材料、新原理、新工藝、新應用的產品不斷涌現，全球產品化的傳感器大約有2.6萬種。敏感材料、MEMS芯片、驅動程序和應用軟件等智能傳感器核心技術的不斷進步，促進了智能傳感器的快速發展和應用。世界主要工業強國均已在智能傳感領域謀篇布局，歐洲、美國、日本等已具有良好的技術基礎，產業上下游配套成熟，幾乎壟斷了“高、精、尖”智能傳感器市場，并呈現高速增長態勢。

從全國看，我國智能傳感器市場空間廣闊，創新能力不斷增強，已形成涵蓋芯片設計、晶圓制造、封裝測試、軟件與數據處理算法、應用等環節的完整產業鏈，已初步形成了長三角、珠三角、京津冀以及中西部重點城市集聚發展的產業空間格局，產品有效供給、技術創新能力、產業生態等將進一步實現突破，向著智能化、網絡化、集成化的方向加速發展。

從省內看，我省傳感器產業經過近些年的發展打下了良好基礎，極具發展潛力，擁有智能傳感器企業70余家，2020年實現主營業務收入109.1億元，在聲學、壓力和非制冷紅外傳感器等領域具有比較突出的行業地位和競爭力。聲學傳感器出貨量居全球第一位，市場占有率超過40%，壓力傳感器在消費類領域市場占有率居全球第三位，高端非制冷紅外成像核心芯片填補國內空白。但是，由于我省智能傳感器產業起步較晚，和國內先進水平相比還有一定差距，目前正處于由傳統型向智能型發展的關鍵階段，在部分領域快速發展的同時，仍面臨著頂層規劃缺失、技術創新能力不強、市場競爭力不足、產業生態不健全等問題。

二、總體要求

（一）指導思想

以習近平新時代中國特色社會主義思想為指導，全面貫徹落實習近平總書記視察山東重要講話、重要指示批示精神，按照“緊盯前沿、延鏈謀劃，龍頭牽引、培育壯大，打造生態、集群發展”的思路，聚焦消費電子、汽車電子、工業控制、醫療電子、航空航天、人工智能、智能家電等重點行業領域，開展智能傳感器核心技術攻關，推動智能傳感器產業鏈上下游協同發展，提升智能傳感器產業鏈整體競爭力，為推動全省新一代信息技術產業高質量發展，培育壯大現代產業體系提供堅實支撐。

（二）發展目標

經過三年發展，我省智能傳感器產業取得明顯突破，創新能力和技術水平走在全國前列，產品結構不斷優化，供給能力有效提高，產業競爭能力達到國內一流。

——產業規模快速壯大。到2023年，智能傳感器主營業務收入達到300億元。緊抓物聯網快速發展、智能傳感器市場爆發增長、技術創新高度活躍的戰略機遇期，做大做強一批智能傳感器設計、制造、封測和系統集成的龍頭骨干企業，帶動形成千億級產業規模。

——產業鏈條持續完善。關鍵環節配套水平不斷提升，產業協同發展能力日益增強，努力打造國內一流、具有國際競爭力的產業集群，基本形成結構合理、生態完善 的智能傳感器產業體系。

——產業布局不斷優化。引導智能傳感器產業開展合理布局和資源整合，智能傳感器產業布局逐漸完善，依托重點項目建設，推動產業鏈向高端延伸。

——創新能力顯著增強。一批智能傳感器核心技術得到突破，行業總體創新投入進一步提升，實現智能傳感器及微系統模組的研發和產業化。協同創新能力進一步增強，創建、培育一批院士工作站、制造業創新中心、技術研發中心等創新載體。

三、產業布局

依托各市產業基礎，發揮國家集成電路設計濟南產業化基地、青島嶗山微電子產業園、中德生態園集成電路產業基地、淄博電子信息產業園、煙臺光電傳感產業園、濰坊聲學光電產業集群等集聚優勢，加大龍頭企業支持力度，積極發展芯片設計、封裝測試、算法開發、系統集成等領域，大力支持聲學、壓力、氣體、溫度、紅外、生物醫學等傳感器突破發展。重點建設青島聲學智能傳感谷和煙臺光電智能傳感產業基地。

青島。打造國內領先的聲學智能傳感谷。依托微電子研究院，集聚全球研發人才，推動建設總部級研發中心，圍繞材料、芯片、器件、算法、智能裝備及先進封裝等展開技術攻關，重點聚焦智能家電、消費電子領域龍頭企業供應鏈建設，加快提升智能傳感器領域設計、制造、封測能力。圍繞培育智能傳感器產業生態，瞄準國際國內領先水準，以嶗山區、城陽區為核心區域，以西海岸新區、即墨區、膠州市為支撐，高起點、高標準推動智能傳感器產業集聚、鏈式、協同發展。

煙臺。打造光電智能傳感產業基地，建設微納制造制造業創新中心。支持煙臺聚焦紅外傳感器、MEMS傳感器、氣體傳感器、半導體激光器、太赫茲探測器、微波器件等重點領域，高標準建設光電傳感研究院，培育涵蓋集成電路設計、材料、封測、裝備研制及應用為一體的完整產業鏈和產業集聚區，建成面向全國的智能傳感器公共服務平臺，為研究院所、企業提供研發和中試服務。支持重點企業開拓氣體傳感、慣性傳感、水質傳感 等領域新的技術及應用，放大帶動效應，建設較為完整的傳感器產業集群。

濟南。依托重點企業智能傳感器封測技術基礎，提升MEMS傳感器及模組封裝技術，形成規模化封裝測試代工能力。積極引進智能傳感器產業鏈上下游配套企業，推動由智能傳感器封裝向模組、設備、系統和解決方案等產業延伸，形成以MEMS傳感器封測為特色的產業聚集區。

淄博。依托重點企業和傳感器研究院，落實“高端引領、深化應用、鑄建鏈群”的思路措施，建設集MEMS芯片設計研發、工藝加工、封裝測試、產品應用和配套服務等為一體的綜合性研發產業基地。加快推進基于MEMS微加工技術的壓電陶瓷揚聲器、壓電陶瓷噴墨頭、編碼器等項目的產業化。

濰坊。依托重點企業聲學傳感器研發、生產技術，結合現有發展優勢，發展智能穿戴設備、人機交互控制終端、觸摸屏控制系統、微型揚聲器模組，打造國家級聲學產業基地。

威海。推動培育智能器件封測等項目，重點建設智能傳感器封測生產線。提升完善國家級研究中心、創新創業園等創新載體，逐步構建高校、科研機構、企業共同參與的傳感器產業鏈創新體系。

其他市。依托本地產業發展基礎和特色，突出差異化發展，重點在智能傳感器材料、應用等領域開展布局,逐步做大產業規模。

四、重點任務

（一）提升設計、制造、封測能力，推進智能傳感器向高端升級

1﹒推進智能傳感器芯片設計。加強對智能傳感器核心芯片，特別是基于MEMS工藝的芯片、ASIC芯片以及應用配套的算法和驅動程序等技術的自主研發，強化前沿技術戰略布局。鼓勵龍頭企業加大芯片方面的研發投入及力度，有效打破技術壁壘，增強企業核心競爭力，提升智能傳感器芯片國產化率。

2﹒推進智能傳感器芯片制造。在符合國家集成電路政策要求下，重點推進智能傳感器芯片生產制造，滿足市場需求的快速增長。圍繞工業、交通、農業、醫療等智能化領域或場景，開展相關智能傳感器的生產制造。重點發展特色工藝，補齊產業短板，著力突破硅基MEMS加工技術、MEMS與互補金屬氧化物半導體（CMOS）集成、非硅模塊化集成、砷化鎵基激光傳感芯片等工藝技術，持續提升工藝的一致性、穩定性。

3﹒推進智能傳感器封裝測試。持續攻關倒裝互連、硅通孔互連、銅-銅互連等高密度互連技術，開發晶圓級芯片尺寸封裝、晶圓扇出型封裝、多種形式的2.5D/3D封裝以及異質封裝等先進封裝技術，推動先進封裝技術研發及產業化。

（二）補齊配套環節短板，強化材料、工藝、裝備支撐

4﹒強化關鍵基礎材料支撐。發揮資源優勢，大力發展氮化鋁、壓電陶瓷等敏感材料，支持骨干企業研發無鉛壓電陶瓷材料制備技術，實現高性能、高穩定性、高可靠性以及可批量生產；研發用于氣體傳感器的超高靈敏度、超低功耗的石墨烯、氧化鋯材料；研發具有巨磁阻效應的納米級多層膜結構的磁材料。積極引進國內重點基礎材料企業，穩步提升關鍵基礎材料供應能力。

5﹒強化先進工藝技術支撐。依托龍頭骨干企業，研發堆迭式差分MEMS芯片技術、多傳感器集成的超小尺寸封裝技術、超薄芯片的減薄及切割技術、超細間距倒裝鍵合技術、高密度SMT工藝、電磁屏蔽技術以及封裝天線工藝等新型傳感器設計制造工藝、集成創新與智能化技術，持續提升原創性研發能力。

6﹒強化傳感器智能裝備支撐。研發用于傳感器封裝、測試、視覺檢測等關鍵環節的專用設備，積極引進國內領先的裝備研發生產企業，增強設備的國產替代能力。

（三）面向重點領域，開展應用示范

7﹒打造智能傳感器推廣示范工程。以應用需求為導向，推進智能傳感器在汽車電子、消費電子、智慧海洋、工業控制、醫療電子等重點應用領域及工業生產流程中的應用及融合，通過智能傳感器進行數據分析、采集、利用，打造智能化生產線，以示范帶動應用，提升產業化水平。

（四）提升公共服務能力，推動產業鏈協同發展

8﹒構建多層次協同創新體系。加強智能傳感器產業研究院建設，深化企業、高等院校及科研院所合作，加大關鍵共性技術、前沿引領技術、現代工程技術、顛覆性技術研發力度，搭建產學研用緊密結合的協同創新和成果轉化平臺。推動我省智能傳感器生產企業、高校、科研院所等成立智能傳感器產業聯盟，推動協同創新。

9﹒強化公共服務平臺建設。鼓勵行業組織、產業園區、科研院所、龍頭企業等建設傳感器技術相關公共服務平臺，重點支持建設覆蓋智能傳感器設計、制造、封裝、測試、標準等公共服務平臺，形成資源共享、優勢互補的公共支撐服務體系。

10﹒鼓勵產業鏈上下游協同發展。支持智能傳感器設計企業與制造、封測企業等建立緊密合作關系，加快新設計、新工藝導入，縮短產品化周期，促進產業鏈上下游企業資源共享和優勢互補，探索和完善多方協作、互利共贏的新型商業模式，推動產業鏈協同升級和產業生態完善。

（五）引進、培育龍頭骨干企業，為產業發展提供堅實支撐

11﹒加快培育創新型領軍企業。選擇一批優勢明顯、成長性好的重點企業，以項目承接、服務采購、資本運作、戰略合作和品牌塑造等方式，加快培育成具有競爭力的創新型龍頭企業。支持龍頭企業在MEMS傳感器及微系統、聲學傳感器、能源傳感器、薄膜壓力傳感器、溫濕度傳感器等方面突破一批核心關鍵技術，引領產業創新發展。

12﹒分類培育創新型中小企業。針對智能傳感器材料裝備、設計、制造、封裝、測試、終端集成等細分領域企業，以聯盟合作、風險投資、規劃咨詢等形式，支持創新型企業孵化，降低企業研發和運行成本，形成融通發展的良好局面。

13﹒重點引進創新型優勢企業。積極開展重大項目招商，重點引進一批擁有技術優勢、品牌優勢和市場優勢的國內外知名物聯網創新型企業，通過戰略重組、技術轉讓和協作配套等方式與上下游企業建立緊密合作關系。鼓勵各市強化雙招雙引，針對智能傳感器產業鏈重點領域、關鍵節點，著重補齊補強，精準實施強鏈補鏈項目，推動智能傳感器產業突破發展。

五、保障措施

（一）完善工作機制。省工業和信息化廳會同省發展改革委、省科技廳等部門做好行動計劃的組織實施和監督評估等工作，各有關部門按照職責分工，采取切實有效的政策措施，抓好重點任務落實。各市要結合本地實際，抓緊制定與行動計劃相銜接的實施方案，落實相關配套政策。相關行業組織要充分發揮橋梁和紐帶作用，協同推動行動計劃的貫徹落實。有關部門、各地方、相關行業組織要加強智能傳感器經驗模式總結和宣傳推廣。

（二）優化資源配置。充分發揮財稅政策的激勵作用，進一步加大對智能傳感器產業扶持力度。重點支持一批應用市場廣、產業基礎好、易于快速產業化的智能傳感器項目，對高端芯片產前首輪流片費用給予補貼，對承擔技術含量高的封裝測試公共服務平臺給予獎勵。培育智能傳感與控制首臺（套）技術裝備，運用保險補償等政策，推動創新產品進入重點產業鏈供應體系。加強產融合作，鼓勵社會資本通過多種方式進入智能傳感器產業領域，引導智能傳感器產業與金融資本深度合作，在銀行信貸、發行債券、股權融資等方面為產業發展提供資本支持，形成財政資金、金融資本、社會資金多方投入的新格局。

（三）集聚發展合力。強化規劃引領作用，引導各類政策向智能傳感器領域傾斜，營造具有比較優勢的產業政策發展環境。成立智能傳感器產業發展專家咨詢委員會，強化產業協作，形成發展合力。支持高等院校、科研院所、行業協會等加強與智能傳感器企業間的產學研深度合作，促進科技成果產業化。鼓勵智能傳感器企業聯合高校、科研院所等機構，制定行業標準，掌握市場話語權。

（四）強化人才供給。持續優化人才環境，依托泰山學者、泰山產業領軍人才、引進頂尖人才“一事一議”等人才工程，積極引進海外領軍人才和高端技術人才，支持相關技術中心、孵化創業中心、博士后工作站等建設，為高端人才集聚提供載體。鼓勵高等院校、科研機構根據需求和自身特色，聯合公共服務平臺和企業，建設跨學科的智能傳感器綜合人才培養基地，為企業輸送高層次工藝人才和技術創新人才。鼓勵示范性微電子學院人才培養向智能傳感器方向傾斜。